一种集成热敏电阻的红外热电堆传感器

摘要

本实用新型公开了一种集成热敏电阻的红外热电堆传感器，包括由不少于一个热电偶串联组成的热电堆区以及集成在热电堆区上的热敏电阻，热电偶包括支撑层，所述支撑层上设有复合薄膜，复合薄膜包括氮化硅层一和氧化硅层一，在复合薄膜上设有第一热偶层，所述第一热偶层上设有氧化硅层二，所述氧化硅层二上设有第二热偶层，所述第二热偶层上设有氮化硅层二，所述支撑层下端设有背腔。本实用新型与现有技术相比的优点在于：把热敏电阻集成到热电堆芯片中，通过半导体工艺一并实现出带有热敏电阻的热电堆，大大的减少了封装面积和成本。