公开/公告号CN212610986U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-02-26
原文格式PDF
申请/专利权人 广州南砂晶圆半导体技术有限公司;
申请/专利号CN202021257677.0
申请日2020-07-01
分类号C30B23/00(20060101);C30B29/36(20060101);
代理机构
代理人
地址 511458 广东省广州市南沙区珠江街南江路7号自编2栋201室
入库时间 2022-08-22 19:54:31
机译: 用于制造的碳化硅单晶坩埚,碳化硅单晶制造装置的制造方法以及碳化硅单晶
机译: 用于生产碳化硅单晶的坩埚,碳化硅单晶的生产装置以及碳化硅单晶的生产方法
机译: 用于生产碳化硅单晶锭的石墨坩埚和用于生产碳化硅单晶锭的方法