一种半导体设ULKCVD装置showerhead部件冲水治具

摘要

本实用新型公开了一种半导体设ULKCVD装置showerhead部件冲水治具，包括上盖定位板、底座和支撑架板，所述支撑架板的一侧通过连接杆及螺栓安装有管路托板，所述管路托板的顶部通过紧固箍设置有水管，支撑架板的顶部通过螺栓安装有底座，所述底座的顶部利用螺栓安装有冲洗网板，所述冲洗网板的底部通过螺栓安装有冲洗喷头，所述冲洗网板的顶部通过螺栓安装有O型圈槽，所述O型圈槽的上端设置有上盖定位板，所述上盖定位板上设置有定位PIN钉。该新型冲水治具功能多样，操作简单，便于生产，满足了使用中的多种需求，适合广泛推广使用。