一种基于微驱动单元的电机跟踪误差减小方法的实现装置

摘要

本实用新型涉及机械精密制造技术领域，具体涉及一种基于微驱动单元的电机跟踪误差减小方法的实现装置。该实现装置包括基座、微驱动单元、电机组件、微驱动控制器、电机控制器及传感器，所述微驱动单元和所述电机组件均设置在基座上；所述电机组件包括电机动子，所述电机动子上用于放置工件，所述传感器用于向所述微驱动控制器反馈所述电机动子的位置信息；所述微驱动控制器控制所述微驱动单元对所述电机动子进行位移补偿，将已补偿的所述电机动子的跟踪误差修正后反馈给电机控制器。本实用新型中的误差减小方法及实现装置减小了电机跟踪误差以及解决耦合干扰的问题，此外，采用的单个位置反馈减少了生产成本。