公开/公告号CN212541082U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-02-12
原文格式PDF
申请/专利权人 华天科技(西安)有限公司;
申请/专利号CN202021449935.5
申请日2020-07-21
分类号G05B19/048(20060101);
代理机构61200 西安通大专利代理有限责任公司;
代理人朱海临
地址 710018 陕西省西安市经济技术开发区凤城五路105号
入库时间 2022-08-22 19:43:01
机译: 一种由脆性材料制成的划片和划片方法以及划片和划片系统
机译: 划片机的划片装置及划片方法
机译: 惰性气体吹扫方法和设备,曝光设备,划片机,划片检查装置,划片箱和设备制造方法