一种工业用大型真空机系统

摘要

本发明鉴于传统真空机速度慢、质量差和安全性低的问题，提出了一种可均衡压力梯度提高安全性的工业用大型真空机系统。该工业用大型真空机系统包括抽真空系统和箱体系统两个子系统。其中，抽真空系统包括罗茨泵、旋片泵、维持泵、扩散泵和各级管道。真空箱体包括箱盖和箱座，并且在箱盖与箱座之间安装有光幕传感器，在箱座向上动作时，光幕传感器接通，遇到障碍时光幕传感器动作，同时箱盖停止动作并复位，提高了工作过程的安全性。通过这样的结构，使抽气管道分别与箱盖和箱座连接，可使向内压力更加均衡，同时可通过增加封装组来提高生产率，箱体安装的光幕传感器，可避免因操作不当造成的人员伤害，提高操作安全性。