一种单晶炉用电极保护装置

摘要

本实用新型涉及一种单晶炉用电极保护装置，该整体由电磁流量计、酸洗容器、电磁阀门、压力感应器及PID控制单元组成。单晶炉铜电极由两个对称的半圆弧形铜电极组成，出水口安装有电磁流量阀来监测水路水流，进水口装有电磁阀门，与外部酸洗容器连通，酸洗容器通过压力感应器控制酸洗容器的酸洗液输出，该结构整体通过PID程序控制，该结构装置可以有效避免电极水路因水垢堵塞导致的设备异常降温及铜电极高温变形等情况。