一种用于晶体生长炉的减震装置

摘要

本实用新型提供了一种用于晶体生长炉的减震装置，包括连接管路，所述连接管路包括用于连接晶体生长炉和真空泵的真空管路，所述真空管路外侧依次设置有阻尼材料填充层和空气管路层；空气减震装置，所述空气减震装置包括第一空气垫、第二空气垫和充气装置，所述第一空气垫用于连接真空泵的底部，所述第二空气垫用于连接晶体生长炉的底部，所述充气装置分别与第一空气垫、第二空气垫和空气管路层连通。本实用新型通过在真空管路外侧设置阻尼材料填充层和真空管路层，通过阻尼材料填充层和空气管路层的双重减震，显著降低了真空管路的震动，且将空气减震应用到晶体生长炉、真空泵和管路，提高了减震效果，使炉体内基本上处于一个静止的状态。