公开/公告号CN212321574U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-01-08
原文格式PDF
申请/专利权人 山东龙玺冠宇检测技术有限公司;
申请/专利号CN202022919136.6
申请日2020-12-09
分类号G01N33/00(20060101);
代理机构37108 山东济南齐鲁科技专利事务所有限公司;
代理人郑向群
地址 257091 山东省东营市东营区淮河路73号龙玺工业园2号楼307室
入库时间 2022-08-22 19:05:12
机译: 一种用于制造光学元件的支架和用于光学元件的支架以及投影曝光系统的方法
机译: 使用快门元件进行曝光的装置和一种用于曝光部分全息膜的曝光方法,一种用于制造薄膜晶体管的方法,一种显示装置以及一种电子装置
机译: 适用于形成图案的重复性曝光的投影曝光设备,一种使用其的投影曝光方法,一种制造曝光成员的方法以及一种包括曝光模式列的半导体装置