用于高纯氯硅烷生产中去除含碳杂质的装置

摘要

本实用新型公开了一种用于高纯氯硅烷生产中去除含碳杂质的装置。该装置包括：精馏装置，设置有物料入口和物料出口，用于脱除三氯氢硅原料中的高沸点组分和低沸点组分；以及吸附装置，与精馏装置的物料出口相连通，内部填充有富含氨基的树脂型吸附剂和铂系催化剂。应用本实用新型的技术方案，利用内部填充有富含氨基的树脂型吸附剂和铂系催化剂的吸附装置，将甲基氯硅烷杂质去通过吸附工艺去除掉，从而将多晶硅生产过程中精馏产品的总含甲基氯硅烷杂质含量降低到50ppb以下，生产出高纯度4N以上，含碳杂质＜50ppb的高纯氯硅烷。