公开/公告号CN212269541U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-01-01
原文格式PDF
申请/专利权人 三一重型装备有限公司;
申请/专利号CN202020541670.5
申请日2020-04-14
分类号C02F1/42(20060101);C02F1/469(20060101);C02F103/04(20060101);C02F103/10(20060101);
代理机构11343 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人尚志峰;王淑梅
地址 110027 辽宁省沈阳市经济技术开发区开发大路25号
入库时间 2022-08-22 18:55:11
机译: 用于半导体装置制造过程的超纯水制备的灭菌组合物,用于该组合物的超纯水制备设备的灭菌方法,以及用于半导体装置制造的超纯水制备设备
机译: 纯水生产装置,纯水和滤水生产装置,纯水生产方法以及纯水和滤水生产方法
机译: 样品容器,超纯水制备控制系统和超纯水的分析方法