公开/公告号CN111392817A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-07-10
原文格式PDF
申请/专利权人 三一重型装备有限公司;
申请/专利号CN202010288764.0
申请日2020-04-14
分类号
代理机构北京友联知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人尚志峰
地址 110027 辽宁省沈阳市经济技术开发区开发大路25号
入库时间 2023-12-17 09:59:34
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-04
实质审查的生效 IPC(主分类):C02F1/42 申请日:20200414
实质审查的生效
2020-07-10
公开
公开
机译: 用于半导体装置制造过程的超纯水制备的灭菌组合物,用于该组合物的超纯水制备设备的灭菌方法,以及用于半导体装置制造的超纯水制备设备
机译: 纯水生产装置,纯水和滤水生产装置,纯水生产方法以及纯水和滤水生产方法
机译: 样品容器,超纯水制备控制系统和超纯水的分析方法