一种高气密性的派瑞林真空纳米镀膜设备

摘要

本实用新型公开了一种高气密性的派瑞林真空纳米镀膜设备，包括密封板和气缸，所述密封板底部与壳体固定连接，且壳体底部安装有底箱，同时壳体内部安装有固定支架，并且固定支架内部固定连接有插块，插块上安装有基板，固定支架上侧安装有横板，且固定支架右下侧与万向轮固定连接，同时固定支架底部与轴杆固定连接，并且轴杆端部通过轴承穿过动力箱与转动齿轮固定连接，真空管的上端设置在壳体内部，且真空管的下端部与底箱内部的真空装置固定连接；所述气缸的伸缩杆与动力箱固定连接。该高气密性的派瑞林真空纳米镀膜设备，基板设置为12组环形设置在固定支架上，一次可完成12组基板的镀膜作业，装置镀膜工作效率高。