公开/公告号CN104226905B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-07-06
原文格式PDF
申请/专利权人 山西模范机械制造有限公司;
申请/专利号CN201410435859.5
申请日2014-09-01
分类号
代理机构太原同圆知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人王金锁
地址 043000 山西省临汾市侯马市晋生巷19号
入库时间 2022-08-23 09:43:22
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-16
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B22C 9/04 授权公告日:20160706 终止日期:20180901 申请日:20140901
专利权的终止
2016-07-06
授权
授权
2016-07-06
授权
授权
2015-01-14
实质审查的生效 IPC(主分类):B22C9/04 申请日:20140901
实质审查的生效
2015-01-14
实质审查的生效 IPC(主分类):B22C 9/04 申请日:20140901
实质审查的生效
2014-12-24
公开
公开
2014-12-24
公开
公开
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机译: 使用无晶片干式清洁光发射光谱仪控制干蚀刻工艺特性
机译: 使用无晶片干式清洁光发射光谱仪控制干蚀刻工艺特性
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