公开/公告号CN211886948U
专利类型实用新型
公开/公告日2020-11-10
原文格式PDF
申请/专利权人 天津柏稷生物科技有限公司;
申请/专利号CN202020336467.4
发明设计人 刘隽成;
申请日2020-03-18
分类号B01L9/02(20060101);B01D46/12(20060101);
代理机构
代理人
地址 300300 天津市滨海新区自贸试验区(空港经济区)中环西路86号汇盈产业园11号楼-12-401/-1-401
入库时间 2022-08-22 17:53:45
机译: 洁净室设施,风量控制装置和风量控制方法
机译: 半导体加工洁净室的工作台-控制空气垂直流向工作台以防止空气湍流
机译: 洁净室和风量控制方法