适用于喷金及喷碳仪的可伸缩、多角度、多层次载体支架

摘要

本实用新型提供了适用于喷金及喷碳仪的可伸缩、多角度、多层次载体支架，包括底座、可伸缩的支撑杆支撑臂以及载物盘；所述支撑臂至少为两根，支撑臂由一段固定段和至少两段活动段连接而成，固定段位于支撑臂的端部，固定段与活动段之间，以及活动段与活动段之间的角度可调，以实现支撑臂的折叠伸缩；所述支撑杆的一端固定在底座上，各支撑臂的一端安装在支撑杆的不同高度位置，载物盘安装在各支撑臂的自由端端部，载物盘的数量与支撑臂的数量相同，载物盘与支撑臂之间的角度可调。使用该载体支架可有效提高喷金仪及喷碳仪的样品腔的空间利用率，提高扫描电镜分析喷金或喷碳前处理的效率并降低耗材成本。