振荡产生器、射频产生器及包括上述产生器的系统

摘要

本文中描述的某些实施方案涉及的为振荡器产生器、射频产生器及其系统。在一些实施方案中，所述产生器包括振荡电路，所述振荡电路被配置成电耦合至感应装置并且在振荡模式下将功率提供到所述感应装置以在矩管主体中维持感应耦合等离子体，所述电路被配置成在所述产生器的所述振荡模式下在所述矩管主体中维持所述感应耦合等离子体期间提供谐波发射控制。