一种FAIMS离子检测器

摘要

本申请公开一种FAIMS离子检测器，包括空心的反应筒，所述反应筒的内部依次分为进气口、迁移区、检测区和出气口，该检测区包括设置有多根同样直径且垂直于离子进入方向的阵列硅柱的敏感阵列，布置在敏感阵列靠近离子进入方向的一侧由多根并排且间隔设置的栅极硅柱构成的栅极层，布置在所述敏感阵列远离离子进入方向的一侧由多根并排且间隔设置的屏蔽硅柱构成的屏蔽层，及后端电路模块。本申请中采用敏感阵列的多排布置方式，可增加气体与敏感阵列的接触面积；而敏感阵列中形成的许多分散的微小气路，使得进入敏感阵列后的离子更容易与敏感硅柱发生碰撞，同时这种结构省去了驱动电极。