硅片用顶齿以及顶齿组

摘要

本实用新型公开了硅片用顶齿(100)以及顶齿组(200)，其中，硅片用顶齿(100)，包括齿件基座(110)，在长度方向的第一端(111)，设有用于支撑硅片(101)的支撑部(112)；第一齿件(120)，设置在支撑部(112)的一侧，具有第一表面(121)，第一表面(121)的表面粗糙度为Ra0.1μm以下；以及第二齿件(130)，安装到支撑部(112)的另一侧，具有与第一表面(121)相对的第二表面(131)，第二表面(131)的表面粗糙度为Ra0.1μm以下；支撑部(112)、第一表面(121)和第二表面(131)形成用于容纳硅片(101)的顶齿槽(140)。本实用新型的硅片用顶齿在硅片的生产过程中，能够降低硅片表面被划伤的风险。