短波长超快激光修整金属结合剂金刚石砂轮的装置

摘要

本实用新型涉及短波长超快激光修整金属结合剂金刚石砂轮的装置，超快激光器的输出光路上布置三维振镜扫描系统，三维振镜扫描系统的输出端正对于夹具上的砂轮；采用超快激光器；激光器的参数设置为扫描速度范围0.5～2m/s，扫描间距范围0.01～0.2mm；将砂轮放在夹具上，调整好砂轮相对于激光光斑焦点的位置，激光光束扫描砂轮，分别从激光功率、脉冲重复频率、扫描次数的三个激光工艺参数开展正交试验；试验完成后在激光共聚焦显微镜下观察砂轮表面的微观形貌，根据砂轮表面磨粒的大小、突出高度、单位面积磨粒的个数比较不同工艺参数下的砂轮的修锐效果，确定最佳工艺参数。避免砂轮修整过程中的热效应，提高修整后的表面质量。