短波长超快激光修整金属结合剂金刚石砂轮的装置及方法

摘要

本发明涉及短波长超快激光修整金属结合剂金刚石砂轮的装置及方法，超快激光器的输出光路上布置三维振镜扫描系统，三维振镜扫描系统的输出端正对于夹具上的砂轮；采用超快激光器；激光器的参数设置为扫描速度范围0.5～2m/s，扫描间距范围0.01～0.2mm；将砂轮放在夹具上，调整好砂轮相对于激光光斑焦点的位置，激光光束扫描砂轮，分别从激光功率、脉冲重复频率、扫描次数的三个激光工艺参数开展正交试验；试验完成后在激光共聚焦显微镜下观察砂轮表面的微观形貌，根据砂轮表面磨粒的大小、突出高度、单位面积磨粒的个数比较不同工艺参数下的砂轮的修锐效果，确定最佳工艺参数。避免砂轮修整过程中的热效应，提高修整后的表面质量。