用于表面处理工艺的工作液主盐浓度监测及补偿的装置

摘要

本实用新型公开了一种用于表面处理工艺的工作液主盐浓度监测及补偿装置，包括监测机构和药剂补偿泵，监测机构包括设置于表面处理工作区工作液内的一个或多个主盐离子浓度传感器和与主盐离子浓度传感器电连接的嵌入式处理器，嵌入式处理器与药剂补偿泵连接。本实用新型针对表面处理时工作液的主盐离子，通过一个或多个传感器进行测量，通过高斯滤波或均值滤波对观测值进行平滑，通过卡尔曼滤波进行融合和进一步的修正降噪，从而获得较为准确的当前浓度。驱动相关的执行机构，释放药剂进行补偿。同时，传感器实时的监测补偿效果，并调整补偿量，最终达到闭环控制调节的目的。