一种实验室用旋转式喷金装置

摘要

本实用新型公开了一种实验室用旋转式喷金装置，包括箱体、真空室、真空泵、磁控溅射外壳，所述箱体前端设置有控制板，所述控制板下方设置有装置开关，所述箱体上端设置有所述真空室，所述真空室外侧设置有真空室密封圈，所述真空室上端设置有顶盖，所述顶盖外侧设置有顶盖密封圈，所述顶盖上端设置有连接柱，所述箱体内设置有所述真空泵，所述真空泵上端设置有真空管，所述真空管外侧设置有电磁阀。有益效果在于：结构合理，操作简单，使用方便，利用阴极电弧源与变化电弧源使得阴极电弧源放电期间的阴阳极变化，使装置的沉积效果变好，利用屏蔽罩可以集中散射的粒子，集中沉积于工件的表面，提高了工作效率。