公开/公告号CN211555831U
专利类型实用新型
公开/公告日2020-09-22
原文格式PDF
申请/专利权人 江苏邑文微电子科技有限公司;
申请/专利号CN201921076056.X
发明设计人 廖海涛;
申请日2019-07-10
分类号H01L21/67(20060101);
代理机构11400 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人朱建
地址 226000 江苏省南通市如东县掘港街道金山路1号
入库时间 2022-08-22 16:50:07
机译: 基板清洗设备,包括该基板清洗设备的基板处理系统以及使用该基板清洗设备制造半导体装置的方法
机译: 湿法清洗和湿法清洗设备
机译: 湿法清洗和湿法清洗设备