一种适用于化学气相沉积法的前体运输装置

摘要

本实用新型属于化学气相沉积设备技术领域，公开一种适用于化学气相沉积法的前体运输装置。包括液体前体补充容器、第一液体前体消耗容器、第二液体前体消耗容器；液体前体补充容器和第二液体前体消耗容器分别位于第一液体前体消耗容器的左侧和右侧；液体前体补充容器、第一液体前体消耗容器、第二液体前体消耗容器之间通过载体管道串连，液体前体补充容器的液面上放置有长条形漂浮体，漂浮体的左端贴合液体前体补充容器的左内壁、右端连接有长方体形玻璃磨块，玻璃磨块的右端贴合液体前体补充容器的右内壁。本实用新型可以实现化学沉积过程中气体的稳定可控。