公开/公告号CN211347705U
专利类型实用新型
公开/公告日2020-08-25
原文格式PDF
申请/专利权人 南京戈锐科技有限公司;
申请/专利号CN201922209383.4
发明设计人 庞猛;
申请日2019-12-11
分类号
代理机构
代理人
地址 210008 江苏省南京市栖霞区迈皋桥创业园科技研发基地(寅春路18号-G1044)
入库时间 2022-08-22 16:13:34
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-25
授权
授权
机译: 一种用于清洁在OLED装置中使用的真空系统的方法,一种在用于制造OLED装置的基板上真空沉积的方法以及一种在用于制造OLED装置的基板上真空沉积的装置
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在用于制造OLED器件的基板上真空沉积的装置
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在制造OLED器件的基板上真空沉积的装置