微波等离子体化学气相沉积中一种可旋转生长金刚石的装置

摘要

本实用新型公开了微波等离子体化学气相沉积中一种可旋转生长金刚石的装置，包括：用于提供微波等离子体金刚石生长环境的腔体，腔体内设置有可旋转样品托，可旋转样品托用于放置金刚石，可旋转样品托可绕中心轴旋转，继而带动金刚石旋转。使得金刚石在生长过程中，每一点生长条件都相同，实现了气流、温度、功率密度在金刚石生长面的均匀分布。