一种兼顾双尺寸靶的小体积剥蚀池

摘要

本实用新型提供了一种兼顾双尺寸靶的小体积剥蚀池，包括外腔体以及样品座，外腔体的下部为侧壁开口结构的样品室，样品座的外形与侧壁开口结构相匹配，且样品座可插接式的连接在样品室内；所述样品座整体结构呈环形，样品座的上表面和下表面与外腔体相接触，且上表面和下表面均嵌入设置有对样品座与腔体之间进行密封的环形橡胶圈，所述样品座的内径对应大靶的直径，样品座的内部设置有活动连接的小靶座，所述小靶座为环形结构，小靶座的外径与大靶直径相同，小靶座的内径与小靶直径相同。本申请提供的小体积剥蚀池结构简单、使用方便、成本低，且能够有效的降低剥蚀池内部的位置效应和记忆效应。