用于晶片缺陷检测的显微镜载物台及晶片缺陷检测装置

摘要

本实用新型提供了一种用于晶片缺陷检测的显微镜载物台及晶片缺陷检测装置，该显微镜载物台包括面板，所述面板上沿其横向滑动设置有横向标尺和纵向滑动设置有纵向标尺，横向标尺上移动设置有第一激光定位器，纵向标尺上移动设置有第二激光定位器。该晶片缺陷检测装置具有所述显微镜载物台。本实用新型对显微镜载物台结构进行改进，通过设置可移动的激光定位器，实现对缺陷位置的准确定位；通过对激光定位器所在横纵标尺的坐标式数值化记录，可实现对缺陷区域的数值化标记，简化了质检工作量，降低区域标记上的失误率。