一种用于散射实验站的真空腔体组件

摘要

本实用新型提供一种用于散射实验站的真空腔体组件，包括：真空腔体本体；连接于真空腔体本体前端的波纹管；设置于真空腔体本体后端的透光窗口，透光窗口处固定有聚酰亚胺薄膜；设置于底部的两套二维运动平台；分别通过一连接装置与二维运动平台连接的第一、第二束流阻挡器；以及分别安装于第一、第二束流阻挡器上的用于测量光强的光电二极管；其中，第一、第二束流阻挡器可同时运动或分别运动，同时满足SAXS、GISAXS以及低分辨XRR三种实验要求。该真空腔体组件可实现样品的大q值测量，并且结构简单、易于维护，束流阻挡器可灵活拆卸，满足不同用户不同实验要求；同时为实验站GISAXS实验自动化对样提供硬件条件。