一种应用于TFT、PECVD工艺的腔体真空传输阀门密封组件

摘要

本发明涉及密封装置技术领域，具体为一种应用于TFT、PECVD工艺的腔体真空传输阀门密封组件，包括阀门门板、密封圈和腔体，所述阀门门板上设置有凹槽，且所述凹槽的开口呈外小内大设置；所述密封圈包括：扁平段、凹陷段和圆头段，所述扁平段位于所述密封圈的一端，用于卡接入所述凹槽内，所述凹陷段沿所述密封圈中部的周向设置，用于限位在所述凹槽开口的边沿处；所述圆头段位于所述密封圈的另一端，用于凸出所述凹槽的开口外。该密封组件，当外力拉扯时，密封圈不会轻易从凹槽上脱落，且密封效果显著。