一种降低纳米银导电膜表面电阻的等离子处理装置

摘要

本实用新型公开了一种降低纳米银导电膜表面电阻的等离子处理装置，包括负压箱体，负压箱体内设置有放卷、收卷、等离子处理箱，等离子处理箱的进气口外通过进气管连接至气瓶，气瓶内装有氢气和保护气的混合气体；等离子处理箱内部设有多个导辊，每个导辊的轴线沿前后方向延伸且能转动，纳米银导电膜依次缠绕在各个导辊上，通过多个导辊使得位于等离子处理箱内的纳米银导电膜呈现为多段迂回的结构，位于相邻的两个导辊之间的每段纳米银导电膜的两侧设有一组等离子电极，每组等离子电极包括相对设置的等离子阳极板和等离子阴极板场。本实用新型的优点：起到了去除导电膜涂层中的有机物和银线表面氧化层从而实现提高涂层导电效率的作用。