一种单晶金刚石生长过程中的监测装置

摘要

本实用新型提供一种单晶金刚石生长过程中的监测装置，包括化学气相沉积设备、厚度监测设备和移动平台；化学气相沉积设备设有沉积室、沉积平台和可视窗；可视窗用于监测放置于沉积平台上的金刚石，沉积平台设于沉积室内；厚度监测设备包括厚度监测部件和物镜，物镜用于通过可视窗监测放置于沉积平台上的金刚石；厚度监测部件与物镜及移动平台连接，用于获得单晶金刚石表面各检测处对应的厚度和位置数据，物镜设于移动平台上且朝向化学气相沉积设备。该监测装置通过移动平台和厚度监测设备，可以实时监测单晶金刚石厚度，一旦局部在高度上可观测到明显的变化，进而决定是否中断生产，减少水、电、气、人工等各方面的损失。