单晶金刚石生长过程中的二维扩大研究

目录

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第1章 绪论

1.1前言

1.2金刚石的分类与晶体结构

1.3金刚石的性质及应用

1.4单晶金刚石的制备方法

1.5单晶金刚石生长过程中的二维扩大研究现状

1.6选题的主要意义及研究内容

第2章 实验装置与表征方法

2.1 MPCVD装置

2.2单晶金刚石激光切割装置

2.3单晶金刚石机械抛光装置

2.4金刚石的表征方法

第3章 衬底温度对单晶金刚石生长质量的影响

3.1引言

3.2衬底单晶金刚石的选取与预处理

3.3衬底温度对单金刚石生长速率及质量的影响

3.4衬底温度对等离子体发射光谱的影响

3.5本章小结

第4章 单晶金刚石边缘不同角度倾斜面对二维面积扩大的影响

4.1引言

4.2不同角度倾斜面对表面生长形貌与质量的影响

4.3不同角度倾斜面对温度与生长速率的影响

4.4.不同角度倾斜面对等离子体发射光谱的影响

4.5机理分析与讨论

4.6本章小结

第5章 衬底基座结构对单晶金刚石二维面积扩大的影响

5.1引言

5.2衬底基座深度对单晶金刚石温度与生长速率的影响

5.3衬底基座深度对单晶金刚石生长形貌与质量的影响

5.4衬底基座深度对等离子体发射光谱的影响

5.5本章小结

第6章 全文总结与展望

6.1 论文总结

6.2论文展望

参考文献

攻读硕士期间已经发表的论文

致谢