宝石级单晶金刚石外延生长的研究

目录

第1章 绪论

1.1 CVD金刚石结构性能及应用

1.2 CVD金刚石技术简介

1.3 MPCVD设备

1.4 MPCVD法生长单晶金刚石的国内外发展历程

1.5 宝石级金刚石分类

1.6 本文的主要研究的内容及意义

第2章 实验方法及表征手段

2.1实验装置

2.2表征方法

第3章 宝石级单晶金刚石制备的研究

3.1籽晶的选择及预处理

3.2单晶金刚石的生长

3.3沉积温度对单晶金刚石的影响

3.4气源对单晶金刚石沉积质量影响的研究

3.5 高温退火对单晶金刚石的影响

3.6 本章小结

第4章 单晶金刚石批量化生长的研究

4.1批量单晶金刚石沉积环境的特征

4.2微波电磁场的研究

4.3微波等离子体模拟的研究

4.4单晶金刚石的批量化生长

4.5批量化生长的问题及解决方案

4.6 本章小结

第5章 全文总结与展望

参考文献

附录 攻读硕士期间已发表的论文

致谢