一种单晶金刚石生长过程的监测方法及监测设备

摘要

本发明提供一种单晶金刚石生长过程的监测方法及监测设备。该监测方法包括如下步骤：1)在单晶金刚石生长前，移动厚度监测设备在单晶金刚石晶种表面进行光学厚度测量，获得初始的单晶金刚石表面各检测处对应的厚度和位置数据；2)在单晶金刚石生长过程中，移动厚度监测设备在单晶金刚石表面进行光学厚度测量，获得生长过程中单晶金刚石表面各检测处对应的厚度和位置数据。该监测设备包括厚度监测设备；厚度监测设备包括厚度监测部件和物镜；厚度监测部件与物镜及移动平台连接，用于获得单晶金刚石表面各检测处对应的厚度和位置数据。该监测方法及装置可以实时监测单晶金刚石厚度，一旦局部在高度上可观测到明显的变化，进而决定是否中断生产。