公开/公告号CN102986022B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-07-06
原文格式PDF
申请/专利权人 桑迪士克科技股份有限公司;
申请/专利号CN201180030355.X
申请日2011-06-17
分类号H01L21/8247(20060101);H01L27/115(20060101);H01L21/764(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人邱军
地址 美国德克萨斯州
入库时间 2022-08-23 09:42:42
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-08-31
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/8247 变更前: 变更后: 申请日:20110617
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2016-07-06
授权
授权
2013-04-17
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/8247 申请日:20110617
实质审查的生效
2013-03-20
公开
公开
机译: 包括位线气隙和字线气隙的非易失性存储器及其制造方法
机译: 包含位线气隙和字线气隙的非易失性存储器及其制造方法
机译: 包含位线气隙和字线气隙的非易失性存储器及其制造方法