可同时放置多个断面样品和表面样品的扫描电镜用样品台

摘要

本实用新型属于扫描电镜用样品台技术领域，具体是可同时放置多个断面样品和表面样品的扫描电镜用样品台，包括凸台、侧块、弹性垫和圆头紧固螺栓，弹性垫粘贴在侧块上，凸台与侧块通过圆头紧固螺栓连接在一起。侧块的上表面与凸台的上表面处于同一水平面，可达到放置较多表面样品的目的，侧块上粘贴的弹性垫对不同厚度的断面样品均能起到压紧作用，可以将断面样品稳定地放置在样品台上，并且很好地保证了样品断面所在的水平面垂直于电子束入射的方向。本实用新型结构新颖，设计合理，增加了放置断面样品和表面样品的数量，保证了对断面样品的压紧效果，扩大了样品台的使用范围，是扫描电镜用样品台方面的创新。