一种用于多种材料共蒸的热源坩埚系统

摘要

本实用新型公开了一种用于多种材料共蒸的热源坩埚系统，包括用于放置待蒸镀材料的坩埚和热源组件，坩埚上包括位于其中部的第一材料放置区，及位于第一材料放置区外部的呈环状设置的第二材料放置区，第一材料放置区与第二材料放置区彼此不相连通，热源组件设置在每个材料放置区的外侧壁上。本实用新型应用于OLED制备过程中，可使掺杂型功能层蒸镀时减少蒸发源的使用数量，降低了设备成本的同时提高了设备的利用率，同时保证共蒸镀膜层的均匀性。