公开/公告号CN210613376U
专利类型实用新型
公开/公告日2020-05-26
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州和青环境科技有限公司;
申请/专利号CN201920984972.7
发明设计人 刘玲子;
申请日2019-06-27
分类号
代理机构
代理人
地址 215000 江苏省苏州市苏州市高新区通安镇真北路88号6号楼3楼
入库时间 2022-08-22 14:11:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-26
授权
授权
机译: 包含抛光剂,氧化剂的金属CMP抛光组合物,至少一种是选自基于聚(羧酸)的共聚物或其盐,基于磷酸的化合物和基于硫磺酸的化合物,以及阴离子的复合剂,以及一种方法组成的金属
机译: 一种基于辉光放电等离子体化学气相沉积技术,利用CR和NI的金属有机前驱体生产CRN和NI的NI涂层和复合涂层
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