一种稀释法测量三氯化硼中水分的装置

摘要

本实用新型公开了一种稀释法测量三氯化硼中水分的装置，包括三氯化硼气源和水分分析仪，还包括稀释气源和采样系统，所述三氯化硼气源和所述稀释气源通过所述采样系统连接所述水分分析仪，所述采样系统包括第一管段、第二管段以及第三管段，所述第一管段的入口连接至所述三氯化硼气源，所述第二管段的入口连接至所述稀释气源，所述第一管段的出口和所述第二管段出口连接至所述第三管段的入口，所述第三管段的出口连接至所述水分分析仪的入口。本实用新型公开的稀释法测量三氯化硼中水分的装置，通过将三氯化硼进行稀释，再进行水分测试，然后根据稀释浓度计算三氯化硼稀释前的水分值，可以测试三氯化硼中较高浓度水分值。