一种真空蒸发源加热组件

摘要

一种真空蒸发源加热组件，包括加热丝、导线和绝缘壳体，其特征在于：所述加热丝绕成螺旋状，并密封在绝缘壳体内，所述导线置于绝缘壳体外，所述绝缘壳体上设有用于固定加热丝和导线连接时预留的凹槽，所述加热丝外接温度控制器来控制蒸发源温度，所述绝缘壳体内中间靠近加热丝处设有温度传感器。本实用新型优点在于：可以防止高温时发生形变导致加热不均匀或者接触其他部位引起短路，从而让电热丝稳定连续加热。