N型掺氢晶化硅钝化的异质结太阳能电池器件

摘要

本发明公开了一种N型掺氢晶化硅钝化的异质结太阳能电池器件，其中，本征非晶硅钝化层沉积在N型晶体硅衬底的正面上；重掺杂P型非晶硅层沉积在本征非晶硅钝化层的上表面上；正面透明导电膜层沉积在重掺杂P型非晶硅层的上表面上；正面电极层位于正面透明导电膜层的上表面上，并且通过该正面透明导电膜层与重掺杂P型非晶硅层电性连接；N型掺氢晶化硅层沉积在N型晶体硅衬底的背面上；重掺杂N型非晶硅层沉积在N型掺氢晶化硅层的下表面上；背面透明导电膜层沉积在重掺杂N型非晶硅层的下表面上；背面电极层位于背面透明导电膜层的下表面上，并且通过该背面透明导电膜层与重掺杂N型非晶硅层电性连接。本发明可以降低太阳能电池的整体串联电阻，进而可以提高填充因子，从而提高太阳能电池的转换效率。