无磁环境扫描电子显微镜

摘要

本实用新型涉及一种无磁环境扫描电子显微镜，包括：样品台，用于放置样品；电子源，用于产生电子束；聚光镜，用于所述电子源产生的电子束进行第一级汇聚；磁透镜，设于所述聚光镜与样品台之间；且所述磁透镜的极靴与样品台上的样品之间的距离为100mm‑200mm，所述磁透镜用于对所述聚光镜汇聚后的电子束的进行第二级汇聚；静电透镜，设于所述磁透镜与所述样品台之间，用于对经所述磁透镜汇聚后的电子束进行聚焦；及电子探测器。上述无磁环境扫描电子显微镜，通过将磁透镜的极靴与样品台上的样品之间的距离设为100mm‑200mm，使磁性样品不受磁透镜的磁场影响，有效确保样品台上的磁性样品保持原有的磁化状态。