公开/公告号CN210190181U
专利类型实用新型
公开/公告日2020-03-27
原文格式PDF
申请/专利权人 福建盛达机器股份公司;
申请/专利号CN201920399335.3
申请日2019-03-27
分类号
代理机构福州市鼓楼区鼎兴专利代理事务所(普通合伙);
代理人李向楠
地址 362200 福建省泉州市安海梧山工业区
入库时间 2022-08-22 12:55:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-27
授权
授权
机译: 形成在半导体器件蚀刻设备的静电吸盘组件和静电吸盘组件中提供的绝缘膜的方法以及制造静电吸盘组件的方法
机译: 静电吸盘组件,具有该静电吸盘组件的半导体制造设备以及测量静电吸盘温度的方法
机译: 多层静电吸盘,静电吸盘组件以及制造静电吸盘组件的方法