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一种新型隔热材料结构PVT单晶体生长装置

摘要

一种新型隔热材料结构PVT单晶体生长装置,涉及单晶体生长设备技术领域,具体包括设备壳体:设备壳体顶端设置有顶温层升降器,顶温层升降器的活动端与顶部保温层固定连接,设备壳体底端设置有一组底温层升降器,低温层升降器与底部保温层固定连接,设备壳体下方还设置有一组坩埚升降器,坩埚升降器穿过底部保温层升降器和底部保温层与坩埚托盘固定连接,坩埚托盘上设置有生长坩埚,生长坩埚周围设置有坩埚加热器,坩埚加热器的外端设置有侧面保温层;本实用新型操作简单,可以精确的保证在同一炉次同一坩埚位置得到期望的坩埚顶和坩埚底的温差.为工艺研发和调试实验过程节省了大量的时间和成本。

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  • 2020-03-17

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