载具及采用该载具的MEMS压力传感器模组校准设备

摘要

本实用新型提供一种载具及采用该载具的MEMS压力传感器模组校准设备，所述载具包括：一载板，用于承载至少一待测样品；一压板，设置在所述载板上方，用于抵压所述待测样品，所述压板包括至少一过孔，所述待测样品的电连接处暴露于所述过孔；至少一电连接装置，包括第一连接端及第二连接端，所述第一连接端及所述第二连接端电连接，所述第一连接端能够与外部装置电连接，所述第二连接端能够穿过所述过孔与所述待测样品的电连接处电连接。本实用新型的优点在于，所述载具能够将待测样品与外部装置连接，在移动及测试过程中避免频繁拆卸待测样品，提高生产效率。