一种应用于氧化扩散炉上的碳化硅管监测保护装置

摘要

本实用新型提供一种应用于氧化扩散炉上的碳化硅管监测保护装置，包括氧化扩散炉、加热体、电阻加热丝以及碳化硅管，所述加热体安装在氧化扩散炉内部左上角，所述电阻加热丝和碳化硅管均安装在加热体内，且电阻加热丝套设在碳化硅管上，所述碳化硅管右端固定进气细管，所述进气细管上套设导电装置，所述氧化扩散炉前端面左侧安装控制面板，所述控制面板前端面上侧安装电压表，且控制面板前端面下侧安装控制器，所述电压表通过导线分别与导电装置和控制器电性连接，且电压表上安装接地线，所述进气细管上套设水套，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：避免电阻加热丝和碳化硅管之间通电击穿，延长碳化硅管的使用寿命。