一种高增益带宽积的光探测器

摘要

本实用新型公开了一种高增益带宽积的光探测器，涉及光探测器技术领域，包括以下步骤：衬底、波半导体光放大器TWSOA和波导雪崩光电二极管WGAPD。所述TWSOA和WGAPD沿入射光方向间隔设置在所述衬底上。所述WGAPD与TWSOA一一对齐的设有下列层：缓冲层、第一渐变层、有源层、第二渐变层、第一功能层、第二功能层、扩散控制层和顶层。本实用新型的光探测器的增益带宽积能够达到1000GHz。