一种基于声子激元增强的石墨烯中红外光探测器

摘要

一种基于声子激元增强的石墨烯中红外光探测器，属于中红外光探测技术领域。本实用新型包括自下而上依次层叠设置的硅衬底、二氧化硅层、石墨烯层以及覆盖在石墨烯层上的三氧化钼微纳结构阵列；三氧化钼微纳结构阵列与石墨烯层形成声子激元增强的异质结构；石墨烯层边缘上方设置有电极，电极延伸到三氧化钼微纳结构阵列与石墨烯层重叠区域。为解决上述技术问题，本实用新型实现了在中红外波段具有大幅提升的光电转换效率，制备方法简单，而且成本低的目的。